Завод «Микрон» выиграл тендер на разработку установки «Лучник»

Зеленоградский завод «Микрон», входящий в группу «Элемент», стал победителем тендера Минпромторга на создание автоматизированной установки «Лучник». Контракт на разработку составляет 1,56 млрд рублей. Данная установка будет играть ключевую роль в производстве микросхем, обеспечивая высокую точность наложения слоев при печати чипов на кремниевых пластинах. Целью проекта является разработка российского аналога американской установки ARCHER 10 XT от KLA Tencor. «Лучник» будет работать с пластинами диаметром 150 и 200 мм, контролируя точность наложения до 130 нм и обеспечивая производительность не менее 75 пластин в час. Разработка устройства потребует сочетания прецизионной механики, оптики и сложного программного обеспечения. Завершить работы планируется до июля 2029 года, что ставит перед инженерами амбициозные задачи. Наличие производственной линии 200-миллиметровых пластин у «Микрона» позволит тестировать прототипы в реальных условиях, что увеличивает шансы на успешную реализацию проекта.

Обсуждение закрыто.