Литографические машины, разработанные компанией ASML для производства полупроводников, теперь находят новое применение благодаря исследовательской группе IMEC. Они обнаружили, что на этих системах можно создавать нанопоры – крошечные отверстия диаметром всего несколько нанометров, которые в 10 000 раз тоньше человеческого волоса. Нанопоры имеют широкий спектр применения в биомедицине, включая секвенирование ДНК, разработку датчиков и доставку лекарств. IMEC смогла наладить массовое производство таких нанопор с помощью высокоразрешающей литографии EUV, создавая надежные и однородные массивы на 300-миллиметровых пластинах из нитрида кремния. Это открытие, представленное на конференции IEEE 2025, может привести к внедрению нанопор в клиническую практику, улучшая диагностику и персонализированную медицину, а также снижая стоимость медицинских тестов.